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PECVD石墨舟
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PECVD作为镀膜最常用的工艺之一,被广泛用于半导体、太阳能电池片的生产工艺中。作为硅片的载体,石墨是最理想的材料之一,对表面膜的均匀性、色差等产生至关重要的作用,要求其有高纯度、耐腐蚀、极好的抗弯强度和良好的导电系数。

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